S6 · UHP 316L สำหรับเซมิคอนดักเตอร์

Semiconductor UHP 316L (รายการตัวกลางและขอบเขตสำหรับ 316L/304L)

ระบุตัวกลาง เกรด และเงื่อนไขขอบเขตที่เกี่ยวข้องกับ Semiconductor UHP 316L: 4 องค์ประกอบ/เงื่อนไขทั่วไป รวมถึงเกรดที่แนะนำ ข้อกำหนด สาเหตุความล้มเหลว และมาตรฐาน

อธิบายเงื่อนไข รับคำแนะนำวัสดุ ดูสินค้า

แผ่นสแตนเลสความแม่นยำสูงและชิ้นส่วนผนังบางกลึง — อิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์: แผ่นความแม่นยำสูง ท่อสะอาด และชิ้นส่วนโครงสร้าง (ภาพประกอบ; การเลือกวัสดุตามตัวกลาง อุณหภูมิ และแบบ drawing)

สี่ส่วนและรายการวัสดุ

ส่วน / องค์ประกอบ	เกรดที่แนะนำ	ข้อกำหนด / ความหนา	พื้นผิว	รูปแบบความล้มเหลว	มาตรฐานอ้างอิง
ท่อส่งก๊าซ UHP	316L VIM-VAR	ความต้านทานแรงดึง: 0.010%, กำมะถัน (S): ≤0.05%, ออกซิเจน (O): ≤0.07%, สิ่งเจือปน: ≤0.5 เกรด ASTM E45 A/B/C/D, โครงสร้างจุลภาค: ซีรีส์ละเอียด	การขัดเชิงกล Ra≤0.25μm → การขัดด้วยไฟฟ้า Ra≤0.13μm; ระดับสูง Ra≤0.05μm	การปนเปื้อนอนุภาค/ไอออนโลหะเป็นรูปแบบความล้มเหลวหลัก; การกัดกร่อนตามขอบเกรน/โซนร้อนในรอยเชื่อมเป็นรองแต่ไม่ควรละเลย	SEMI F20 เกรด 5；SEMI F19；SEMI F57
ตัววาล์วสำหรับก๊าซพิเศษ / วาล์วลดแรงดัน / วาล์วไดอะแฟรม	316L ชิ้นงานหลอม VIM-VAR	S≤0.005%	การขัดด้วยไฟฟ้า Ra≤0.2μm	ไม่มีเหล็กอิสระ	SEMI F20 4.6.2；ASTM A182
ระยะห่างจากที่นั่งถึงผนังท่อ >1D	316L ท่อส่งสารเคมีอิเล็กทรอนิกส์แบบ CMP/เปียก	ไลเนอร์ EP/PFA/PTFE	Ra≤0.2μm	การสึกหรอแบบขัดถู + กรดแก่/สารออกซิไดซ์ + การกักเก็บอนุภาค	SEMI F20; SEMI F57
ห้องสุญญากาศ/แผ่น flaps	304L/316Lเกรด	อัตราการระบายอากาศต่ำเป็นสิ่งสำคัญ ไม่ใช่กำมะถันหรือออกซิเจน	2B/ ชุบไฟฟ้า/ล้างด้วยกรด	การระบายอากาศไม่เพียงพอ → สุญญากาศลดลง; การรั่วซึมระหว่างการเชื่อม	ASTM A240; ISO 3669

ตารางประกอบด้วยการกำหนดค่ามาตรฐานชิ้นส่วนเดียวกันสามารถใช้ 304, 316L หรือ 2205 ขึ้นอยู่กับตัวกลาง อุณหภูมิ และวิธีการเชื่อม—อธิบายเงื่อนไขได้ดีกว่าการระบุเกรด

ข้อพิจารณาด้านวัสดุ

เกรดที่พบมากที่สุดในอุตสาหกรรมนี้คือ 316L (4), 304L (1) —— ตัวเลขในวงเล็บแสดงจำนวนพื้นที่ที่ได้รับผลกระทบ มีประโยชน์สำหรับการเสนอราคาและการเตรียมวัสดุ
ในตัวกลางที่เป็นกรด 316L เป็นเพียงจุดเริ่มต้น; ความเข้มข้นและอุณหภูมิที่เพิ่มขึ้นต้องพิจารณา 904L / Duplex (2/4 ครั้ง)
ช่วงความหนา: 0.005–0.01 mm —— แผ่นบางส่วนใหญ่เป็นชิ้นส่วนขึ้นรูป (พิจารณาการดีดกลับจากการดัดและการแตกร้าวจากการขึ้นรูปขึ้นรูป) แผ่นหนาส่วนใหญ่เป็นโครงสร้างเชื่อม (พิจารณาความร้อนที่ป้อนและความไวต่อการกัดกร่อน)

ปัญหาที่พบบ่อย

เซมิคอนดักเตอร์ UHP 316L: สแตนเลสชนิดใดที่ใช้มากที่สุดสำหรับขีดจำกัดกำมะถัน/ออกซิเจน/สิ่งเจือปน/Ra ตาม SEMI F20?

จากจำนวนหน้าทั้งหมด เกรดที่ติดอันดับสูงสุดคือ 316L (4) และ 304L (1) การระบุเฉพาะชิ้นส่วนยังคงขึ้นอยู่กับตัวกลางและอุณหภูมิ เช่น เคาน์เตอร์สแตนเลสที่สัมผัสน้ำเค็มควรเปลี่ยนจาก 304 เป็น 316L

ชิ้นส่วนใดมีแนวโน้มเกิดปัญหามากที่สุด?

จากคำอธิบายความล้มเหลว โดยทั่วไปคือ "ท่อส่งก๊าซ UHP": การปนเปื้อนอนุภาค/ไอออนโลหะเป็นความล้มเหลวหลัก การกัดกร่อนตามขอบเกรน/รอยเชื่อม HAZ เป็นความล้มเหลวรองแต่ไม่ควรละเลย แนะนำเกรด 316L VIM-VAR ข้อกำหนด S ≤0.005–0.010%; O≤7ppm; สิ่งเจือปน ASTM E45 อนุกรมละเอียด A/B/C/D ≤ระดับ 0.5 สำหรับเงื่อนไขนี้ ระบุความเข้มข้นของตัวกลาง อุณหภูมิ และวิธีการทำความสะอาดในขั้นตอนการออกแบบ

ควรเลือกความหนาเท่าใด?

ช่วงความหนาในรายการคือ 0.005–0.01 mm สำหรับแผ่นบาง ให้พิจารณาความสามารถในการขึ้นรูปและคุณภาพพื้นผิว สำหรับแผ่นหนา ให้พิจารณาความแข็งแรงของการเชื่อมและความสมบูรณ์ของโครงสร้าง ค่าอาจแตกต่างกันตามผู้ผลิตอุปกรณ์สำหรับชิ้นส่วนเดียวกัน ตรวจสอบแบบหรือเงื่อนไขของคุณ

วัสดุที่เกี่ยวข้องและอุตสาหกรรมใกล้เคียง

316Lวัสดุและข้อกำหนด 304Lวัสดุและข้อกำหนด สลักเกลียวสแตนเลส: A2-70/A4-70/A4-80/ซีรีส์ D และมาตรฐานล่าสุดสลักเกลียวสแตนเลส หน้าแปลนเหล็กกล้าคาร์บอนสำหรับการแยกเกลือจากน้ำทะเล: ขอบเขตความดัน-อุณหภูมิ-การกัดกร่อนของ 2205/2507หน้าแปลนดูเพล็กซ์และการแยกเกลือ วาล์วไดอะแฟรมสุขาภิบาล/วาล์วสะอาด: ASME BPE, Ra และขอบเขตอุณหภูมิวาล์วสุขาภิบาล